半導體工業用石墨制品材料的處理

半導體工業用石墨制品資料的處理
未運用過的石墨制品資料發熱體、保溫罩、托架和籽晶夾、石墨坩鍋等器材，因在機械加工時有石墨粉附著在石墨制品資料器材的表面或浸入石墨體氣孔中，也可能有其他雜質浸人石黑孔隙中，為了避免在運用中對半導體資料引起污染，在運用前必須進行預處理。
一種預處理方法是先將石墨器材在四氯化碳中浸泡數小時，然后用去離子水沖凈并烘干，在運用溫度下真空煅燒3~4h，再保存起來待用。另二種預處理方法是將石墨器材放在王水里浸泡24h，取出后用去離子水煮沸屢次，首至溶液望中性為正。烘于后連同整套石墨器材裝在爐腔里，在真空中（一般10-mmlHg以上）進行高溫處理h，其溫度應稍高于工作溫度，冷卻后取出放人枯燥瓶待用。對運用過的行題器材可愛善保管。再運用時，可先用0號金相砂紙擦去表面層，再經去離子水和無水酒精擦凈后烘干，即可運用。